Prozess und Vorrichtung zum Messen der Kristallfraktion von Kristallinen Monocast-Siliziumwafern

摘要

Bereitgestellt sind Verfahren und Vorrichtungen zur Bestimmung der Kristallfraktion eines Monocast-Siliziumwafers. Ein Lichtquelle ist auf den Wafer gerichtet und die Transmission oder Reflexion wird von einem Detektor gemessen. Ein Bild des Wafers wird von einem Prozessor erzeugt, und die Kristallfraktion wird aus dem erzeugten Bild berechnet. Die Kristallfraktion ist mit dem Wirkungsgrad der hergestellten Solarzelle korreliert, was den Verwurf von qualitativ unterlegenen Wafern vor der Verarbeitung erlaubt.