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Überwachungsvorrichtung (7) zur Überwachung einer Entladung in einem Plasmaprozess, insbesondere zwischen Elektroden (11, 12) einer Kathodenzerstäubungsanordnung (13), dem ein Leistungsgenerator (14) mit einem sich periodisch verändernden Ausgangssignal (19) des Leistungsgenerators Leistung zuführt, wobei die Überwachungsvorrichtung (7) aufweist: a. eine Signalerfassungsvorrichtung (8) zum Erfassen zumindest eines ersten Signalverlaufs (2) zumindest eines Plasmaversorgungssignals (19) innerhalb zumindest eines ersten Zeitintervalls innerhalb zumindest einer Periode des Plasmaversorgungssignals (19), b. eine Signalerfassungsvorrichtung (8) zum Erfassen zumindest eines zweiten Signalverlaufs (6) zumindest eines Plasmaversorgungssignals (19) innerhalb zumindest eines zweiten Zeitintervalls, das an der dem ersten Zeitintervall entsprechenden Stelle in zumindest einer weiteren Periode des Plasmaversorgungssignals (19) liegt, und c. eine Erkennungssignalgenerierungsvorrichtung (17) ausgelegt zur Generierung eines Erkennungssignals (5) bei Abweichung des zweiten Signalverlaufs um mindestens einen Abstand vom ersten Signalverlauf, wobei die Erkennungssignalgenerierungsvorrichtung eine Abstandsermittlungsvorrichtung aufweist, die ausgelegt ist, den Abstand mittels Zusammenführen einer Mindestzeitdifferenz (22) und Mindestsignalamplitudendifferenz (21) zu ermitteln. |
