大気圧プラズマを用いる堆積のための方法及び装置

摘要

装置は、プラズマ堆積ユニット、移動システム、及びメッシュシステムを備えていてもよい。プラズマ堆積ユニットは、プラズマを発生させるように構成されてもよい。移動システムは、プラズマ堆積ユニットの下で基板を移動させるように構成されてもよい。メッシュシステムは、プラズマ堆積ユニットと基板との間に位置してもよく、メッシュは、基板上への堆積のために複数の材料を備えていてもよく、メッシュを通過するプラズマにより、メッシュからの複数の材料の一部を基板上に堆積させることができる。