| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine 'in situ'-Ionenätzeinrichtung zur lokalen Probendünnung im Transmissionselektronenmikroskop (1) unter elektronenmikroskopischer Beobachtung. Hierzu wird ein Ionenstrahler (2) so angeordnet, daß am Probenort eine möglichst feine Ionensonde erzeugt wird, die über die Probenoberfläche gerastert werden kann. Der Ionenstrahl (16) und die Probe (10) bilden dabei einen möglichst flachen Winkel. Zur Kompensation des Magnetfeldes der Objektivlinse (5) wird der Ionenstrahl (16) ausgelenkt und auf eine Kurvenbahn zu der Probe (10) geführt. Eine bevorzugte Ausbildung besteht in der Hinzunahme eines elektrostatischen Zylinderkondensator-Sektorfeldes, das eine Doppelfokussierung bewirkt. Die Ionensonde kann über das Rasterionenbild durch die auf der Probe (10) ausgelösten Sekundärelektronen (22) auf einen ausgewählten Probenbereich positioniert werden. Die Probenstelle kann während der Ionendünnung in Elektronentransmission oder Elektronenbeugung beobachtet werden. Damit lassen sich unter hochauflösenden Beobachtungsbedingungen Zielpräparationen durchführen und Kontaminations- oder Reaktionsschichten entfernen.</p> |
