| 发明名称 | 印刷式化学机械研磨垫 | ||
| 摘要 | 一种制造研磨垫的研磨层的方法，包括使用3D印刷机相继地沉积多个层，藉由从喷头喷出垫材料前驱物、并固化该垫材料前驱物以形成固化的垫材料的方式来沉积该多个研磨层的每一层。 | ||
| 申请公布号 | CN104285281A | 申请公布日期 | 2015.01.14 |
| 申请号 | CN201380023299.6 | 申请日期 | 2013.04.05 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | R·巴贾杰;B·L·钦;T·Y·李 |
| 分类号 | H01L21/304(2006.01)I;B24B37/04(2012.01)I | 主分类号 | H01L21/304(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 徐伟 |
| 主权项 | 一种制造研磨垫的研磨层的方法，所述方法包括以下步骤：使用3D印刷机相继地沉积多个层，藉由从喷嘴喷出垫材料前驱物、且固化所述垫材料前驱物以形成固化的垫材料的方式来沉积多个研磨层的每一层。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||