使用原子层沉积盒的粉末颗粒涂布

摘要

期望用薄涂层涂布小颗粒以改变这些颗粒的表面性质而同时保持它们的堆积性质。ALD技术为用于此目的的一种有价值的应用。本发明提供了一种方法，所述方法包括通过快速耦联法将原子层沉积(ALD)盒(110)接收到ALD反应器(121)的接收器中。由于此特征，可实现反应器内和盒内的导管彼此对齐。所述ALD盒构造为充当ALD反应室，并且所述方法包括通过顺序的自饱和表面反应在所述ALD盒内处理微粒材料的表面。本发明还涉及ALD反应器、ALD盒以及涉及含有所述反应器和所述盒的装置。

主权项

一种方法，所述方法包括：通过快速耦联法将原子层沉积(ALD)盒接收到ALD反应器的接收器中，所述ALD盒构造为充当ALD反应室；和通过顺序的自饱和表面反应在所述ALD盒内处理微粒材料的表面。