阳刻抗光组合物

摘要

一种阳刻抗光组合物，其可以在含水硷性介质中显影，此种组合物包含:（a）至少一种含有式Ⅲ结构单元酯基的均聚物或共聚物，＄＄ (Ⅲ)，其中Ｒ1，Ｒ2 和Ｒ3 独立为氢或Ｃ1 一 6 烷基，（b）至少一种含式 Ⅱa 结构单元的含羧基共聚物，＄＄ (Ⅱa)，其中Ｒ1，Ｒ2 和Ｒ3 独立为氢或Ｃ1 一 6 烷基，其中羧基含量为０．４０至５．５０莫耳／公斤，（c） 至少一种感光的重氮盐（diazonium）、 sulfosonium或碘或感光的磺酸酯，和（d） 一种有机溶剂。