具有三个敏感轴的转速传感器以及制造转速传感器的方法

摘要

一种用于探测转速传感器的转动运动的转速传感器，其中，所述转速传感器具有第一传感器结构、第二传感器结构以及驱动结构，所述第一传感器结构具有第一振动质量，所述第二传感器结构具有第二振动质量，所述驱动结构与所述第一振动质量和所述第二振动质量耦合，其中，所述第一传感器结构配置用于探测围绕第一旋转轴的第一转速，并且所述第二传感器结构配置用于探测围绕第二旋转轴的第二转速，其中，能够驱动所述第一振动质量进行沿着第一振动方向的第一驱动振动，其中，能够驱动所述第二振动质量进行沿着不同于所述第一振动方向的第二振动方向的第二驱动振动，其中，所述第一旋转轴垂直于所述第一振动方向地布置，并且所述第二旋转轴垂直于所述第二振动方向地布置，其特征在于，所述第二传感器结构配置用于探测围绕不同于所述第二旋转轴的并且垂直于所述第二振动方向的第三旋转轴的第三转速。

主权项

一种用于探测转速传感器(1)的转动运动的转速传感器(1)，其中，所述转速传感器(1)具有第一传感器结构(10)、第二传感器结构(20)以及驱动结构(30)，所述第一传感器结构具有第一振动质量(11，11′)，所述第二传感器结构具有第二振动质量(21，21′)，所述驱动结构与所述第一振动质量(11，11′)和所述第二振动质量(21，21′)耦合，其中，所述第一传感器结构(10)配置用于探测围绕第一旋转轴(201)的第一转速，并且所述第二传感器结构(20)配置用于探测围绕第二旋转轴(202)的第二转速，其中，能够驱动所述第一振动质量(11，11′)进行沿着第一振动方向(101′)的第一驱动振动，其中，能够驱动所述第二振动质量(21，21′)进行沿着不同于所述第一振动方向(101′)的第二振动方向(102′)的第二驱动振动，其中，所述第一旋转轴(201)垂直于所述第一振动方向(101′)地布置，并且所述第二旋转轴(202)垂直于所述第二振动方向(102′)地布置，其特征在于，所述第二传感器结构(20)配置用于探测围绕不同于所述第二旋转轴(202)的并且垂直于所述第二振动方向(102′)的第三旋转轴(203)的第三转速。