平面三自由度压电驱动平台

摘要

一种平面三自由度压电驱动平台，属于精密驱动技术领域。它包括功能平台（5）和弹性板（7），还包括安装于功能平台（5）和弹性板（7）之间的压电驱动器，还包括位于弹性板（7）下方并与弹性板（7）下表面直接接触的静平台（8）。本实用新型避免了传统机械式传动引入的铰链间隙等误差，可实现大行程、高精度的定位目标。

主权项

一种平面三自由度压电驱动平台，其特征在于：包括功能平台（5）和弹性板（7），还包括安装于功能平台（5）和弹性板（7）之间的压电驱动器，还包括位于弹性板（7）下方并与弹性板（7）下表面直接接触的静平台（8）；上述压电驱动器由4n个压电驱动模块（14）组成，其中n大于等于4，每个压电驱动模块（14）均包括一个位移放大机构（3），位移放大机构（3）的两侧各具有1个压电叠堆（6）、1个预紧螺栓（2）、1个连接板（1）；其中所述连接板（1）上部固连于功能平台（5）下方，所述预紧螺栓（2）安装于所述连接板（1）下部，所述压电叠堆（6）通过预紧螺栓（2）压紧在位移放大机构（3）侧面；4n个压电驱动模块（14）呈正方形均匀排列方式安装于功能平台（5）和弹性板（7）之间，即正方形的每条边安装有n+1个压电驱动模块，其中n大于等于4。