发明名称 |
一种晶格匹配的LED外延结构 |
摘要 |
本实用新型涉及一种晶格匹配的LED外延结构,本实用新型涉及一种从成核层、未掺杂层、n型层、发光层和p型层都具极化匹配的氮化物发光二极管外延结构及制备方法,属于光电子技术领域。该外延结构由下至上依次设置有衬底、Al<sub>x</sub>Ga<sub>1-x-y</sub>In<sub>y</sub>N成核层、未掺杂的Al<sub>x</sub>Ga<sub>1-x-y</sub>In<sub>y</sub>N层、n型掺杂的Al<sub>x</sub>Ga<sub>1-x-y</sub>In<sub>y</sub>N层、In<sub>a</sub>Ga<sub>1-a</sub>N阱层和Al<sub>x</sub>Ga<sub>1-x-y</sub>In<sub>y</sub>N垒层构成的多量子阱发光层和p型掺杂的Al<sub>x</sub>Ga<sub>1-x-y</sub>In<sub>y</sub>N层。与传统结构相比,该外延结构从成核层开始到发光层区间和P型掺杂层均采用与发光层阱材料相匹配的四元Al<sub>x</sub>Ga<sub>1-x-y</sub>In<sub>y</sub>N材料,消除了发光层内阱与垒间的压电极化效应,提高了LED的内量子发光效率。 |
申请公布号 |
CN204102922U |
申请公布日期 |
2015.01.14 |
申请号 |
CN201420351797.5 |
申请日期 |
2014.06.26 |
申请人 |
山西飞虹微纳米光电科技有限公司 |
发明人 |
李天保;韩蕊蕊;马淑芳;田海军;关永莉 |
分类号 |
H01L33/06(2010.01)I;H01L33/32(2010.01)I;H01L33/12(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/06(2010.01)I |
代理机构 |
北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 11385 |
代理人 |
董芙蓉 |
主权项 |
一种晶格匹配的LED外延结构,其特征在于,包括:衬底,所述衬底上,由下至上依次设置有Al<sub>x</sub>Ga<sub>1‑x‑y</sub>In<sub>y</sub>N成核层、未掺杂的Al<sub>x</sub>Ga<sub>1‑x‑y</sub>In<sub>y</sub>N层、n型掺杂的Al<sub>x</sub>Ga<sub>1‑x‑y</sub>In<sub>y</sub>N层、In<sub>a</sub>Ga<sub>1‑a</sub>N阱层和Al<sub>x</sub>Ga<sub>1‑x‑y</sub>In<sub>y</sub>N垒层构成的多量子阱发光层和p型掺杂的Al<sub>x</sub>Ga<sub>1‑x‑y</sub>In<sub>y</sub>N层;各层的Al<sub>x</sub>Ga<sub>1‑x‑y</sub>In<sub>y</sub>N的晶格常数与多量子阱发光层的阱层In<sub>a</sub>Ga<sub>1‑a</sub>N的晶格常数相同,各层的Al<sub>x</sub>Ga<sub>1‑x‑y</sub>In<sub>y</sub>N的带隙宽度大于多量子阱发光层的阱层In<sub>a</sub>Ga<sub>1‑a</sub>N的带隙宽度。 |
地址 |
041600 山西省临汾市洪洞县甘亭工业园区 |