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发明名称
摘要
申请公布号
JP2751357(B2)
申请公布日期
1998.05.18
申请号
JP19890087518
申请日期
1989.04.05
申请人
NIPPON DENKI KK
发明人
HINOOKA KYONOBU
分类号
H01L27/04;H01L21/82;H01L21/822;H03M1/74;(IPC1-7):H01L21/82
主分类号
H01L27/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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