发明名称
摘要
申请公布号 JP2751357(B2) 申请公布日期 1998.05.18
申请号 JP19890087518 申请日期 1989.04.05
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 HINOOKA KYONOBU
分类号 H01L27/04;H01L21/82;H01L21/822;H03M1/74;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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