双焊头固晶装置

摘要

本发明公开一种双焊头固晶装置，包括设有晶圆盘的机架，在该机架上设有第一焊头，该第一焊头通过第一摆臂与第一摆臂驱动电机连接，所述机架还设有第二焊头，该第二焊头通过第二摆臂与第二摆臂驱动电机连接。工作时，在第一摆臂驱动电机和第二摆臂驱动电机带动下，使第一摆臂开始转动至晶盘位置拾取晶圆后向键合位置移动时，第二摆臂转动开始从键合位置向晶盘方向移动，使得第一摆臂移动至键合位置时，第二摆臂恰好移动至晶盘上方开始拾起晶圆，重复拾起键合动作。由于避免采用单个焊头时将晶圆拾起后定位的周期较长，提高晶圆拾起的效率和移动行程时间，进而提高固晶的效率。

主权项

双焊头固晶装置，包括设有晶圆盘的机架，在该机架上设有第一焊头，该第一焊头通过第一摆臂与第一摆臂驱动电机连接，其特征在于：所述机架还设有第二焊头，该第二焊头通过第二摆臂与第二摆臂驱动电机连接。