衬底处理设备和衬底处理方法

摘要

提供一种衬底处理设备和衬底处理方法。衬底处理设备包含：第一和第二分配单元，其经配置以涂布原料，第一和第二分配单元相对于彼此独立移动；处理框，其经配置以使用第一和第二分配单元将原料实际涂布到待处理的衬底上；第一测试框，其安置在处理框的一侧上以维护和修复第一分配单元；第二测试框，其安置在处理框的另一侧上以维护和修复第二分配单元；以及托台移动部件，其安置在处理框、第一测试框和第二测试框上方以水平移动第一和第二分配单元。

主权项

一种衬底处理设备，包括：第一和第二分配单元，其经配置以涂布原料，所述第一和第二分配单元相对于彼此独立移动；处理框，其经配置以使用所述第一和第二分配单元将所述原料实际涂布到待处理的衬底上；第一测试框，其安置在所述处理框的一侧上以维护和修复所述第一分配单元，并且第一测试框设置有第一测试台，第一测试衬底在第一测试台上；第二测试框，其安置在所述处理框的另一侧上以维护和修复所述第二分配单元，并且第二测试框设置有第二测试台，第二测试衬底在第二测试台上；以及托台移动部件，其安置在所述处理框、所述第一测试框和所述第二测试框上方以水平移动所述第一和第二分配单元；控制单元，连接到第一分配单元和第二分配单元以及托台移动部件，其中，第一测试衬底和第二测试衬底由与所述衬底基本上相同的材料制成，其中，所述控制单元控制被维护或被修复的分配单元移动到处理框，以仅在确认原材料被正常涂布到第一测试衬底和第二测试衬底上之后才将原材料实际涂布到所述衬底上。