发明名称 毛细玻璃管表面镀碳膜装置
摘要 一种毛细玻璃管表面镀碳膜装置,它包括固定在底座上的二氧化碳激光打标机和与二氧化碳激光打标机配合的棱镜,还包括一中空的壳体,在壳体一个侧面设置有与棱镜相对应的透光窗口,在壳体另一侧面设置有第一气孔和第二气孔,第一气孔与真空泵连通,第二气孔与乙炔氮气气体罐连通;在壳体上设置有光纤夹具,壳体内部与壳体外部气密封。该镀碳膜装置适用于化学气相沉积方法在毛细玻璃管表面进行碳膜沉积。需镀膜的毛细玻璃管插入准直玻璃管中,其尾部尾纤通过橡胶垫、光纤夹具、光纤固定夹具和螺帽拧紧密封,两个塔形接头装置分别连接真空泵和气体罐。涂覆碳膜的毛细玻璃管可以有效的阻止外界环境中氢离子的腐蚀,提高其使用寿命。
申请公布号 CN204097562U 申请公布日期 2015.01.14
申请号 CN201420530563.7 申请日期 2014.09.16
申请人 山东省科学院激光研究所 发明人 王英英;王昌;刘小会;赵庆超;马龙
分类号 C23C16/46(2006.01)I;C23C16/26(2006.01)I 主分类号 C23C16/46(2006.01)I
代理机构 济南舜源专利事务所有限公司 37205 代理人 曲志波
主权项 一种毛细玻璃管表面镀碳膜装置,它包括固定在底座上的二氧化碳激光打标机和与二氧化碳激光打标机配合的棱镜,还包括一中空的壳体,在壳体一个侧面设置有与棱镜相对应的透光窗口,在壳体另一侧面设置有第一气孔和第二气孔,第一气孔与真空泵连通,第二气孔与乙炔氮气气体罐连通;在壳体上设置有光纤夹具,壳体内部与壳体外部气密封。
地址 272073 山东省济宁市海川路9号高新区产学研基地A3