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发明名称
摘要
申请公布号	JP2781165(B2)	申请公布日期	1998.07.30
申请号	JP19960023280	申请日期	1996.01.16
申请人		发明人
分类号	C23C14/34;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/34	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
主权项
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