发明名称 高沸点廃棄物の再生プロセス
摘要 Waste streams from different chloromonosilane production processes are combined and reacted in a single recovery process. Useful monosilane species may be obtained with a single recovery process.
申请公布号 JP5654490(B2) 申请公布日期 2015.01.14
申请号 JP20110547912 申请日期 2009.06.30
申请人 发明人
分类号 C01B33/107;C07F7/12 主分类号 C01B33/107
代理机构 代理人
主权项
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