| 发明名称 | 隔膜真空泵 | ||
| 摘要 | 本发明涉及隔膜真空泵，隔膜真空泵具有至少一个隔膜泵级，具有至少一个入口阀，所述入口阀用于传输将要传输的工艺气体，并且与所述隔膜泵级相连，以及具有至少一个用于供应平衡气的气镇阀，在所述工艺气体的流动方向上，流过所述气镇阀的平衡气的流动路径通向所述入口阀后面的工艺气体的流动路径。 | ||
| 申请公布号 | CN104279147A | 申请公布日期 | 2015.01.14 |
| 申请号 | CN201410321520.2 | 申请日期 | 2014.07.07 |
| 申请人 | 普发真空有限公司 | 发明人 | 索斯藤·布格格拉夫;于尔根·维斯纳 |
| 分类号 | F04B45/04(2006.01)I | 主分类号 | F04B45/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人 | 邓云鹏 |
| 主权项 | 一种隔膜真空泵，具有至少一个隔膜泵级(12)，具有与所述隔膜泵级(12)相连的至少一个入口阀(20)，所述入口阀(20)用于传输将要传输的工艺气体，以及具有至少一个用于供应平衡气的气镇阀(22)，其特征在于，在所述工艺气体的流动方向上，流过所述气镇阀(22)的平衡气的流动路径通向所述入口阀(20)后面的工艺气体的流动路径。 | ||
| 地址 | 德国阿斯拉市 | ||