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发明名称 DEFLECTION PLATE AND DEFLECTION DEVICE FOR DEFLECTING CHARGED PARTICLES
摘要 <p>A deflection plate having a non-planar shape, for deflecting charged particles is provided. An associated method is also provided.</p>
申请公布号 EP2823693(A1) 申请公布日期 2015.01.14
申请号 EP20120726780 申请日期 2012.05.31
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 APTAKER, PETER, SIMON;BEASLEY, PAUL;HEID, OLIVER
分类号 H05H7/00 主分类号 H05H7/00
代理机构 代理人
主权项
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