| 主权项 |
1.一种抛光薄板的方法,其包含步骤:转动一固持平板,该固持平板的一表面将该薄板固着;将固着于该转动之固持平板之薄板与一设置于转动台表面之抛光垫相接触,以抛光薄板;在薄板被固着于固持平板的一表面之前,用该用以抛光薄板之抛光垫将固持平板的一表面抛光。2.如申请专利范围第1项之抛光薄板的方法,其中该固持平板的一表面的抛光步骤是在与抛光该薄板相同的状况下被执行。3.如申请专利范围第1项之抛光薄板的方法,其中该固持平板的一表面是由与该薄板相同的材料所制成,且该固持平板的一表面的抛光步骤是在与抛光该薄板相同的状况下被执行。4.如申请专利范围第1项之抛光薄板的方法,其中该薄板是由矽晶片、SiO2光罩以及SOI晶片所组成的群体中所选择出的一种。5.如申请专利范围第1项之抛光薄板的方法,其中该薄板包含一半导体基底、一形成于基底上之导线、以及一设置于该导线与基底上之绝缘膜,且该抛光方法的执行是为了将该薄板的绝缘膜平坦化。6.一种用于抛光薄板的抛光设备,其包含:一可转动的固持平板,用以将薄板固着于其一表面;及一可转动的转动台,其上面具有一抛光垫,用以经由转动的薄板与转动的抛光垫接触而将该薄板抛光;其中该固持平板之用以将该薄板固着的一表面是由一种在与薄板相同的抛光状况下,该表面可以被抛光到与该薄板几乎相同之程度的材料所制成。7.如申请专利范围第6项之抛光设备,其中该固持平板内形成有多数个用以真空吸引之穿孔8.如申请专利范围第6项之抛光设备,其中该固持平板之用以将薄板固着的一表面包含粉末材料以及与该粉末材料相结合之结合树脂材料;在与该薄板相同之抛光之状况下,该粉末材料可以被抛光到与该薄板几乎相同的程度。9.一种用于抛光薄板的抛光设备,其包含:一可转动的固持平板,用以将一矽薄板固着于其一表面;及一可转动的转动台,其上面具有一抛光垫,用以经由转动的矽薄板与转动的抛光垫接触而将该矽薄板抛光;其中该固持平板之用以将该矽薄板固着的一表面是由矽所制成。10.一种用于抛光薄板的抛光设备,其包含:一可转动的固持平板,用以将一矽薄板固着于其一表面;及一可转动的转动台,其上面具有一抛光垫,用以经由转动的矽薄板与转动的抛光垫接触而将该矽薄板抛光;其中该固持平板之用以将该矽薄板固着的一表面包含矽粉末以及与该矽粉末相结合之结合树脂材料。11.如申请专利范围第6项之抛光设备,其中该固持平板包含:一表面构件,用以将薄板固着于该表面构件的一表面,该表面构件是由当与薄板在相同的状况下被抛光时,可以被抛光到与薄板相同的程度的材料所制成;以及一固着于该表面构件之平板主体。12.如申请专利范围第11项之抛光设备,其中该表面构件是由矽单晶所制成而该平板主体是由Al2O3所制成。13.如申请专利范围第11项之抛光设备,其中该表面构件包含矽粉末或CaCO3粉末,以及与该粉末相结合之结合树脂材料。14.如申请专利范围第13项之抛光设备,其中该结合树脂材料是环氧树脂,而该平板主体是由Al2O3所制成,且该平板主体内形成有多数个用以真空吸引的穿孔。图式简单说明:第一图A到第一图C是依据本发明第一实施例之抛光方法之步骤的垂直剖面视图;第二图是依据本发明第一实施例之抛光设备之主要部分的垂直剖面视图;第三图是依据本发明第二实施例之抛光设备之主要部分的垂直剖面视图;第四图是依据本发明第三实施例之抛光设备之主要部分的垂直剖面视图;第五图是可应用本发明的一有效的例子的垂直剖面视图;第六图是可应用本发明的另一个有效的例子的垂直剖面视图;第七图是一薄板抛光设备实例之概略侧视图。 |
