移除基板与静电卡钳之间的电荷

摘要

本发明揭示一种静电卡钳，其在移除之前及期间，较有效地将累积电荷自基板移除。当前，起模顶杆及接地插针为用于在植入之后将电荷自基板移除的仅有机构。本发明描述一种卡钳，其具有接地的较多额外低电阻路径中之一者。此等额外导管允许累积的电荷在将所述基板自所述卡钳移除之前及期间被耗散。藉由提供自基板114的背侧表面的充分电荷汲取，可减少基板粘住卡钳的问题。此举导致基板破裂的相对减少。

主权项

一种用于处置基板的卡钳，其包括：顶部层，其由非导电材料制成，所述顶部层用以接触基板，外部环形环，其环绕所述顶部层，以及所述外部环形环与接地之间的连接，其中所述连接包括碳膜。