图像传感器的形成方法

摘要

一种图像传感器的形成方法，包括：提供晶圆；在晶圆正面形成像素电路中的各个晶体管；在晶圆和晶体管的上形成介质层，和位于介质层中的互连结构，所述各个晶体管通过互连结构相连，形成像素电路；形成像素电路后，在介质层上形成承载结构；形成承载结构后，翻转晶圆，使晶圆的背面朝上；在晶圆的背面形成图形化的掩膜层，图形化的掩膜层定义扩散柱的位置；以所述图形化的掩膜层为掩膜，对晶圆进行掺杂，在晶圆内形成扩散柱，所述扩散柱与所述像素电路相连；去除图形化的掩膜层；去除图形化的掩膜层后，在晶圆的背面形成光电二极管。本发明图像传感器的形成方法工艺简单，成本低廉。

主权项

一种图像传感器的形成方法，其特征在于，包括：提供晶圆；在所述晶圆正面形成像素电路的各个晶体管；在所述晶圆和晶体管上形成介质层，和位于所述介质层中的互连结构，所述各个晶体管通过所述互连结构相连，形成像素电路；形成像素电路后，在所述介质层上形成承载结构；形成所述承载结构后，翻转所述晶圆，使所述晶圆的背面朝上；在所述晶圆的背面形成图形化的掩膜层，所述图形化的掩膜层定义扩散柱的位置；以所述图形化的掩膜层为掩膜，对所述晶圆进行掺杂，在所述晶圆内形成扩散柱，所述扩散柱与所述像素电路相连；去除所述图形化的掩膜层；去除所述图形化的掩膜层后，在所述晶圆的背面形成光电二极管。