硅光伏电池的钝化缺陷的光致发光绘图

摘要

用于快速且准确地对硅晶片中的钝化缺陷进行绘图的方法，包括例如，当在生产线中的传送带上输送晶片时，采集光致发光(PL)图像同时移动晶片。该方法可应用于太阳能电池制造中的硅晶片的在线诊断。示例性实施例包括由单个光致发光强度图像(图)获得整个晶片钝化缺陷图像的过程，并且为工艺控制提供快速的反馈。

主权项

一种检查光伏晶片的方法，包括：利用激发光相继照射晶片的多个照射区域，同时引起所述晶片与照射之间的相对动作；探测来自利用激发光相继照射的晶片的多个探测区域的光致发光光；基于探测到的光致发光光来形成晶片的光致发光强度图；以及基于光致发光强度图识别晶片中的缺陷，并据此确定关于晶片的信息。