| 主权项 |
一种用于TSV填充铜残余应力测量的加热装置，包括夹具部分、加热部分和调整载台部分；其特征在于：所述夹具部分包括夹具座(17)，夹紧弹簧片(11)、定位弹簧片(16)、卸力拨杆(12)；夹紧弹簧片(11)和定位弹簧片(16)固定在夹具座(17)上，卸力拨杆(12)的由圆弧面(29)和平面(30)组成的部分圆轴插入夹具座(17)的上的圆弧槽Ⅰ(36)中；其中夹具座(17)的上半部分是一个凸台结构，凸台布置在夹具座(17)的一侧，凸台的顶部加工有轨道平面(34)，轨道平面(34)上有沿着垂直于夹具座(17)底面方向贯穿夹具座(17)的缝隙(33)，缝隙(33)的作用是压出电镀铜柱(7)的时候保证电镀铜柱(7)沿着缝隙下落，不受阻力；轨道平面(34)的一侧与凸台的内倾的向下延伸的侧面(40)相接，另一侧是内倾的向上延伸的定位侧面(38)；在缝隙(33)两端，有用于定位的定位标识(35)其作用是在调整TSV转接板(8)在轨道平面(34)上的位置的时候用于显示TSV转接板上面电镀铜柱(7)和缝隙(33)的相对位置；当TSV转接板放在轨道平面(34)上面调整位置的时候，卸力拨杆(12)向上扭转，抬起夹紧弹簧片(11),作用在TSV转接板(8)上的夹紧力被卸掉，此时定位弹簧片(16)产生向上和向外的变形，定位弹簧片(16)的折边(27)对TSV转接板(8)产生向下的压力，定位弹簧片(16)的竖边对TSV转接板(8)产生推力，同时TSV转接板(8)的另一边和定位侧面(38)接触，定位侧面(38)向内的倾斜角度保证TSV转接板(8)紧贴在轨道平面(34)上面，定位弹簧片(16)对TSV转接板(8)进行定位的同时并不影响TSV转接板(8)贴着定位侧面(38)和轨道平面(34)滑动；在夹具座(17)的顶面上加工有部分圆弧槽Ⅰ(36)，圆弧槽Ⅰ(36)的半径比卸力拨杆(12)的部分圆弧面(29)大，当卸力拨杆(12)安装到圆弧槽Ⅰ(36)中的时候，卸力拨杆上的圆弧面(29)结构可以使卸力拨杆(12)沿圆弧面(29)轴线的方向转动，当卸力拨杆上的平面(30)和夹具座(17)的顶面平行的时候，平面(30)的高度低于夹具座(17)的顶面的高度，夹紧弹簧片(11)的折边(23)和TSV转接板(8)接触，对TSV转接板(8)有向下的压紧力，此时TSV转接板(8)被夹紧，不可以调整位置；当卸力拨杆(12)向上转动时，圆弧面(29)从夹具座(17)的顶面凸出，向上顶起夹紧弹簧片(11)，此时夹紧弹簧片(11)的折边(23)和TSV转接板(8)分离，对TSV转接板(8)没有向下的压力，此时TSV转接板(8)未被固定，可以调整位置；夹具座(17)的凸台上面，在缝隙(33)的两面，沿垂直于缝隙(33)的方向上加工有部分圆弧槽Ⅱ(39)，载台座(15)上的细牙螺杆(14)在部分圆弧槽Ⅱ(39)轴线的位置沿轴线深入到部分圆弧槽Ⅱ(39)中，此时，细牙螺杆(14)的一部分圆弧高于平面(34)，位于TSV转接板(8)两侧的细牙螺杆(14)分别顶住TSV转接板(8)的两边，实现TSV转接板(8)的定位，当需要精确调整TSV转接板(8)在夹具上的位置的时候，先旋转卸力拨杆(12)将夹紧弹簧片(11)顶起，将一边的细牙螺杆(14)退出一段距离，然后另一边的细牙螺杆(14)推动TSV转接板(8)前进一段距离，在显微镜下观察电镀铜柱(7)和定位标识(35)的相对位置，当调整到位时，旋转之前退出的细牙螺杆(14)使其重新顶住TSV转接(8)，然后旋转卸力拨杆(12)使夹紧弹簧片(11)重新夹紧TSV转接板(8)，完成TSV转接板(8)位置的调整和定位；所述加热台部分包括加热座(13)、电加热膜(21)、石棉垫(18)、温控传感器(19)；加热座(13)的作用是阻止热量传播，支撑夹具；加热座(13)的上表面设计有凹槽Ⅰ(44)，凹槽Ⅰ(44)的底面靠近通孔(46)的位置设计有凹槽Ⅰ(45)，凹槽Ⅰ(45)附近设计有通孔(42)；温控传感器(19)布置在凹槽Ⅰ(45)中，在凹槽Ⅰ(44)的底面上铺上石棉垫(18)和电加热膜(21)，温控传感器(19)和电加热膜(21)的导线通过通孔(42)穿出，将温控传感器(19)和电加热膜(21)串联，与直流稳压电源连接，通过控制电路中电流的大小来控制电加热膜(21)上的功率的大小，结合贴在TSV转接板(8)上面的热电偶监控和调整TSV转接板(8)的温度变化；将温控传感器(19)的动作温度设定低于加热座(13)的材料的玻璃化温度，当温度达到动作温度的时候，温控传感器(19)断开，电路断电，实现对加热座(13)的保护；夹具座(17)的底面可以陷入加热座(13)的凹槽Ⅰ(44)中，夹具座(17)和加热座(13)之间紧固在一起，夹具座(17)的底面和电加热膜(21)紧贴在一起，有利于热量的传导；所述调整载台部分包括载台座(15)、细牙螺杆(14)；载台座的底座是和纳米压痕仪配合的燕尾槽滑块(47)，燕尾槽滑块(47)上表面设计有两个调整凸台(48)；调整凸台(48)上面有用于安装细牙螺杆(14)的螺纹通孔(50)；安装时载台座(15)和加热座(13)固定在一起。 |
