发明名称 金属パターンを有するナノプリントされたデバイスおよび金属パターンをナノプリントする方法
摘要 <p>The invention concerns a nanoprinted device comprising point shaped metallic patterns, in which each metallic pattern has a bilayer structure controlled in hardness and in chemical properties comprising a lower layer (30) constituting the base of the point and an upper layer (31) constituting the point itself.</p>
申请公布号 JP5653574(B2) 申请公布日期 2015.01.14
申请号 JP20070534064 申请日期 2005.09.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/60;H01L21/288;H01L21/3205;H01L21/768 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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