真空蒸镀装置中蒸镀材料的蒸发或升华方法及坩埚装置

摘要

本发明提供真空蒸镀装置中蒸镀材料的蒸发或升华方法及真空蒸镀用坩埚装置，在防止蒸镀材料劣化的同时，可以长时间连续运转。在坩埚座(13)内，将放射以红外线为主要波长的加热波的放射热源(21)内置于加热波透射管(22)，该加热波透射管(22)由可透射红外线的材质构成。来自放射热源(21)的加热波照射在坩埚主体(12)内的蒸镀材料M的表面上对其进行加热，并仅使蒸镀材料M的表面蒸发或升华。蒸发或升华的蒸镀材料M即使附着在加热波透射管(22)的表面或坩埚主体(12)、坩埚座(13)的内表面上，也可以利用加热波进行加热使其再蒸发或再升华。

主权项

一种真空蒸镀装置中蒸镀材料的蒸发或升华方法，在真空状态下，对收容在坩埚内的蒸镀材料进行加热使其蒸发或升华，对被蒸镀构件的表面进行蒸镀，其特征在于，从设置在所述坩埚内的放射加热器，通过加热波透射容器放射以红外线为主要波长的加热波，并且使所述加热波透射容器的至少一部分由能透射红外线的材质形成；利用所述加热波仅对蒸镀材料的表面进行加热使其蒸发或升华；利用所述加热波对蒸发或升华后并附着在所述坩埚内表面上的蒸镀材料进行加热，使其再蒸发或再升华，将所述坩埚的温度控制成低于蒸镀材料的蒸发温度或升华温度；向所述加热波透射容器内供给冷媒流体，将所述加热波透射容器的表面温度控制成低于蒸镀材料的分解温度。