等离子真空泵

摘要

本实用新型公开一种等离子真空泵，它是将电子发射环、旋转线圈套装在玻璃泵体的外壁，在玻璃泵体两头焊接有进排气管；进气管用于与被抽容器连接，排气管用于与前级真空泵连接；利用电子发射环将进入玻璃泵体内的气体部分电离形成等离子气体，等离子气体在旋转线圈形成的旋转磁场中高速旋转；由于气体的粘滞作用，等离子气体带动未能电离的气体分子一起高速旋转，形成涡流产生中心真空区进行除气。由于等离子气体在旋转磁场中高速旋转没有机械运动部件，没有振动、结构简单、能耗低、耐大气冲击。

主权项

一种等离子真空泵、包括外壳(1)、套装在外壳内的玻璃泵体(3)、与玻璃泵体(3)连接的进气管(4)和排气管(5)、套装在玻璃泵体(3)上的电子发射环(6)和旋转线圈(8)、为电子发射环(6)供电的高频发生器(7)、为旋转线圈(8)供电的变频器(9)；其特征在于：所述的玻璃泵体(3)是将石英玻璃管制成瓶胆状，玻璃泵体(3)的两头焊接有进气管(4)和排气管(5)；所述的排气管(5)焊接在玻璃泵体(3)的径向；所述的电子发射环(6)套装在玻璃泵体(3)的前部；所述的旋转线圈(8)套装在玻璃泵体(3)的中后部；将套装电子发射环(6)和旋转线圈(8)的玻璃泵体(3)套入外壳(1)内；所述的电子发射环(6)与高频发生器(7)连接；所述的旋转线圈(8)与变频器(9)连接。