一种柔性非制冷红外探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种柔性非制冷红外探测器及其制备方法，探测器依次包括衬底、第一电极、铁电聚合物层和第二电极，其特征在于：所述衬底为厚度1～4微米的聚酯膜，在所述衬底的表面设有红外辐射吸收电极，所述红外辐射吸收电极、衬底、第一电极构成光学谐振腔结构，被探测光自所述红外辐射吸收电极一侧入射。制备时，通过蒸发镀膜制备镍-铬合金薄膜、第一电极；采用旋转镀膜方法制备聚偏二氟乙烯和三氟乙烯的共聚物薄膜；用蒸发镀膜方法在聚偏二氟乙烯和三氟乙烯的共聚物薄膜上制备金属铝膜，构成第二电极。本发明实现了对红外辐射波长的选择性吸收和吸收增强，探测率高。

主权项

一种柔性非制冷红外探测器，依次包括衬底、第一电极、铁电聚合物层和第二电极，其特征在于：所述衬底为厚度1～4微米的聚酯膜，在所述衬底的表面设有红外辐射吸收电极，所述红外辐射吸收电极、衬底、第一电极构成光学谐振腔结构，被探测光自所述红外辐射吸收电极一侧入射。