圆板形工件用外周研磨装置

摘要

提供一种外周研磨装置，能够对坡口角度不同的工件的边缘进行研磨。对工件(W)的表面侧及背面侧的边缘(Ea、Eb)进行研磨的边缘研磨单元(2A、2B)具有：研磨部件安装体(11)，其安装有研磨部件(10)；安装体支承部件(12)，其倾转自如地支承该研磨部件安装体(11)；安装体用角度调整机构(13)，其调整所述研磨部件安装体(11)的倾斜角度；摆动支承基座(15)，其以沿着摆动直线摆动自如的方式支承所述安装体支承部(12)；基座支承部(17)，其倾转自如地支承该摆动支承基座(15)；基座用角度调整机构(18)，其以与所述工件(W)的边缘(Eb)平行的方式调整所述摆动支承基座(15)的倾斜角度；以及基台部(19)，其以能够在垂直方向和水平方向上进行位置校正的方式支承所述基座支承部(17)。

主权项

一种圆板形工件用外周研磨装置，用于对形成在圆板形工件的表面及背面的外周部分上的倾斜面状的边缘进行研磨，其特征在于，所述外周研磨装置具有：装夹机构，其对所述工件进行保持并使所述工件绕着轴线旋转；和表面侧及背面侧的边缘研磨单元，其通过研磨部件的呈弧状的作业面对所述工件的表面侧及背面侧的边缘进行研磨，所述表面侧及背面侧的边缘研磨单元具有：研磨部件安装体，其能够更换地安装所述研磨部件；安装体支承部，其倾转自如地支承该研磨部件安装体；安装体用角度调整机构，其调整所述研磨部件安装体的倾斜角度，使得所述研磨部件的作业面与工件的边缘平行；载荷施加机构，其将所述研磨部件的作业面按压在所述工件的边缘上来施加研磨载荷；摆动支承基座，其以沿着相对于所述轴线倾斜的直线移动自如的方式支承所述安装体支承部；摆动机构，其使所述安装体支承部沿着所述直线摆动；基座支承部，其倾转自如地支承所述摆动支承基座；基座用角度调整机构，其调整所述摆动支承基座的倾斜角度，使得所述直线与所述工件的边缘平行；以及基台部，其以能够在垂直方向及水平方向上进行位置校正的方式支承所述基座支承部。