退火装置

摘要

一种退火装置，为了防止运送装置曝露于高温环境并且实现运送装置的寿命的长期化而具有：炉体，具有能够炉体2的内部露出并且能够将入口开口（2a）及出口开口开放的盖部（2c）；和运送装置（6），设置于炉体（2）的外部并且能够把持片材（S）的一部分而进行运送。

主权项

一种退火装置，对经由炉体的入口开口部以及出口开口部而插通于炉体内部的片材进行加热而进行退火处理，其中，具有：上述炉体，具有盖部，该盖部能够将上述炉体内部在从上述入口开口部直到上述出口开口部的范围内开放而露出并且能够将上述入口开口以及上述出口开口开放，以及运送装置，设置于该炉体的外部，并且在上述盖部在上述范围内将上述炉体内部开放的情况下把持上述片材的一部分而从上述入口开口部运送到上述出口开口部。