发明名称 |
一种高能粒子轰击用Ag-Mg合金型MgO膜层的制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种高能粒子轰击用Ag-Mg合金型MgO膜层的制备方法。使用本发明能够解决MgO膜层薄和残余的Mg氧化不充分的问题。本发明首先采用CO<sub>2</sub>对Ag-Mg合金中的Mg进行氧化,由于CO<sub>2</sub>分子足够大而不能渗透到Ag-Mg合金内部,能加速表面膜层的迅速成长和内部Mg向表面的迁移,然后再用O<sub>2</sub>对残余的Mg继续氧化,由于O<sub>2</sub>分子能渗透到Ag-Mg合金内部,能将内部残余的Mg氧化充分,提高MgO膜层厚度,避免残余Mg导致的膜层污染进而降低MgO膜层二次发射系数的问题,并且,本方法制备设备为全无油系统,避免系统油蒸汽对膜层的污染,提高了膜层的二次发射系数。 |
申请公布号 |
CN104278230A |
申请公布日期 |
2015.01.14 |
申请号 |
CN201410449841.0 |
申请日期 |
2014.09.05 |
申请人 |
兰州空间技术物理研究所 |
发明人 |
成大鹏;马寅光;王骥;陈江;黄良育;郑宁;高玮;袁征难;朱宏伟 |
分类号 |
C23C8/10(2006.01)I |
主分类号 |
C23C8/10(2006.01)I |
代理机构 |
北京理工大学专利中心 11120 |
代理人 |
付雷杰;杨志兵 |
主权项 |
一种高能粒子轰击用Ag‑Mg合金型MgO膜层的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1,构建制备设备;所述制备设备包括装入区(6)和处理室(4),所述装入区(6)和处理室(4)通过连接管道连接,所述连接管道上设有阀门(5),阀门(5)处于关闭状态;步骤2,将预处理后的Ag‑Mg合金样品放置在装入区(6)中,对装入区(6)抽真空,当装入区(6)的真空度大于10<sup>‑3</sup>Pa后,停止抽气,向装入区(6)中充入干燥N<sub>2</sub>;步骤3,对处理室(4)抽真空,当处理室(4)的真空度大于10<sup>‑3</sup>Pa后,对处理室(4)进行烘烤加热,使处理室(4)的温度达到要求的氧化反应温度值并恒温;步骤4,停止处理室(4)的抽气,向处理室(4)中充入CO<sub>2</sub>;步骤5,打开阀门(5),将样品送至处理室(4)中,使样品中的Mg被CO<sub>2</sub>充分氧化;步骤6,停止充入CO<sub>2</sub>,对处理室(4)抽真空,当处理室(4)的真空度大于10<sup>‑3</sup>Pa后,向处理室(4)中充入O<sub>2</sub>,使样品中残留的Mg被O<sub>2</sub>充分氧化;步骤7,停止充入O<sub>2</sub>,向处理室(4)中充入N<sub>2</sub>,并降温,待处理室(4)降至室温后将样品取出。 |
地址 |
730000 甘肃省兰州市城关区渭源路97号 |