| 发明名称 | 托盘组件和刻蚀设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种托盘组件和刻蚀设备，涉及半导体设备制造技术领域。所述托盘组件包括托盘和设置在所述托盘上的盖板，所述盖板朝向所述托盘的表面上设置有加强肋，所述托盘上对应于所述加强肋的位置设置有与所述加强肋相配合的第一凹槽。本实用新型通过在盖板上增加加强肋，增强了盖板的抗变形能力，提高了盖板的使用寿命。另一方面，本实用新型在加强肋和托盘的相应位置设置了进一步定位的结构，提高了装片效率。 | ||
| 申请公布号 | CN204102874U | 申请公布日期 | 2015.01.14 |
| 申请号 | CN201420467560.3 | 申请日期 | 2014.08.19 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 朱印伍;刘海鹰 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人 | 彭瑞欣;张天舒 |
| 主权项 | 一种托盘组件，包括托盘和设置在所述托盘上的盖板，其特征在于，所述盖板朝向所述托盘的表面上设置有加强肋，所述托盘上对应于所述加强肋的位置设置有与所述加强肋相配合的第一凹槽。 | ||
| 地址 | 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 | ||