| 发明名称 | 对准标记及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种对准标记及其制备方法。对准标记包含多个标记单元，各标记单元包含一第一元件和多个第二元件，各第二元件包含相对的第一和第二端部，其中所述多个第二元件沿一方向排列，而第一元件靠近所述多个第二元件的第一端部延伸并平行所述多个第二元件的排列方向。 | ||
| 申请公布号 | CN103176373B | 申请公布日期 | 2015.01.14 |
| 申请号 | CN201210433331.5 | 申请日期 | 2012.11.02 |
| 申请人 | 南亚科技股份有限公司 | 发明人 | 江宸谷;吴元薰 |
| 分类号 | G03F9/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F9/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 冯志云;吕俊清 |
| 主权项 | 一种对准标记，包含多个标记单元，各标记单元包含一第一元件和多个第二元件，各第二元件包含相对的第一端部和第二端部，其中所述多个第二元件沿一方向排列，而该第一元件靠近所述多个第二元件的第一端部并平行所述多个第二元件所排列的该方向延伸；其中各第二元件包含一条形，各第二元件垂直所述多个第二元件所排列的该方向延伸；所述多个第二元件被形成为多对的第二元件，其中各对的第二元件的第一端部连接。 | ||
| 地址 | 中国台湾桃园县 | ||