发明名称 |
一种用于晶片表面平整度测量的工装 |
摘要 |
本发明公开了一种能够快速并准确测量晶片表面平整度,并且不会对晶片产生划伤、压碎、磕边、污染等不良现象的用于晶片表面平整度测量的工装,包括水平设置的底座,底座上设置有晶片放置区,支架位于底座上,支架上设置激光测距仪以及用于带动激光测距仪运动的有X轴平动机构和Y轴平动机构,所述激光测距仪竖直设置。采用本发明的用于晶片表面平整度测量的工装,使用时通过激光测距仪的测点在晶片表面行走的方式,测量激光测距仪到镜片表面各个测点的距离,通过比对所测距离数值,就能够判断晶片表面是否平整。本发明结构简单,能够有效避免现有技术中的缺陷,保证晶片表面的完好无损,同时测量精度高,测量速度快。 |
申请公布号 |
CN104282588A |
申请公布日期 |
2015.01.14 |
申请号 |
CN201310282855.3 |
申请日期 |
2013.07.05 |
申请人 |
天津浩洋环宇科技有限公司 |
发明人 |
沙恩水 |
分类号 |
H01L21/66(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/66(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种用于晶片表面平整度测量的工装,其特征在于:包括水平设置的底座,底座上设置有晶片放置区,支架位于底座上,支架上设置激光测距仪以及用于带动激光测距仪运动的有X轴平动机构和Y轴平动机构,所述激光测距仪竖直设置。 |
地址 |
300384 天津市华苑高新区海泰信息广场C座602室 |