真空控制装置

摘要

在一种真空控制装置中，该真空控制装置带有至少一个用于将真空输出到真空消耗器处的基础单元(13)，其中，基础单元(13)具有用于供给和工作联接件的供给和工作接口(20)以及用于安装在供给和工作接口(20)处的供给和工作联接件(15，16，28a，28b)；用于排气排出单元(29，31)的排气接口(30)以及至少一个用于安装在排气接口(30)处的排气排出单元(29，31)；用于吹气控制器(32，33)的吹气控制接口(40)以及至少一个用于安装在吹气控制接口(40)处的吹气控制器(32，33)；以及用于与外部的电子控制装置通讯的通讯接口(50)，供给和工作联接件具有用于安装多个结合成组件的基础单元(13)的共用联接件(16)以及用于安装单个基础单元(13)的专用联接件(15)。

主权项

一种真空控制装置，带有至少一个用于将真空输出到真空消耗器处的基础单元(13)，其中，所述基础单元(13)具有：用于供给和工作联接件的供给和工作接口(20)以及用于安装在所述供给和工作接口(20)处的供给和工作联接件(15,16,28a,28b)；用于排气排出单元(29,31)的排气接口(30)以及至少一个用于安装在所述排气接口(30)处的排气排出单元(29,31)；用于吹气控制器(32,33)的吹气控制接口(40)以及至少一个用于安装在所述吹气控制接口(40)处的吹气控制器(32,33)；以及用于与外部的控制装置通讯的通讯接口(50)，其特征在于，所述供给和工作联接件具有用于安装多个结合成组件的基础单元(13)的共用联接件(16)以及用于安装单个基础单元(13)的专用联接件(15)，其中所述共用联接件(16)由联接板形成，所述联接板具有通入联接部分配器通道系统(21)中的供给联接部(19)，所述联接部分配器通道系统(21)与所述基础单元(13)中的每一个相联结，并且具有多个分别与所述基础单元(13)中的一个相关联的工作联接部(22)。