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发明名称 METHOD FOR MOUNTING OPTICAL ELEMENTS, SUSPENSION ARRANGEMENTS FOR OPTICAL ELEMENTS, OPTICAL APPARATUS AND LITHOGRAPHY APPARATUS.
摘要
申请公布号 NL2013692(A) 申请公布日期 2015.01.13
申请号 NL20142013692 申请日期 2014.10.28
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 VRIES GOSSE CHARLES;BUIS EDWIN JOHAN;REKKERS ERIK MARIA
分类号 G02B7/00;G03F7/20 主分类号 G02B7/00
代理机构 代理人
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