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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR RECOVERING PHOTORESIST DEVELOPERS AND STRIPPERS
摘要
申请公布号 IL139723(D0) 申请公布日期 2002.02.10
申请号 IL19990139723 申请日期 1999.05.18
申请人 PHOENANKH CORP. 发明人
分类号 B01D61/18;B01D;B01D29/25;B01D29/66;B01D37/00;B01D65/02;G03F7/30;G03F7/42;H01L21/027;H05K3/00;(IPC1-7):B01D 主分类号 B01D61/18
代理机构 代理人
主权项
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