液体处理装置、液体处理方法及液体处理用记录媒体

摘要

本发明之目的在于用一个过滤器获得与设置复数个过滤器的情况同样的过滤效率，同时防止处理量降低。;为了达成上述目的，本发明根据控制部101的控制信号，使光阻液L经过过滤器52并将其吸入泵70，使泵所吸入之光阻液的一部分从吐出喷嘴7吐出，使剩下的光阻液回到过滤器的一次侧的供给管路51b，使与吐出量相等的补充量加入回流量而合流，并使所合流之光阻液以对应吐出量与回流量之比率的合流的次数实行光阻液的吐出与过滤器的过滤。

主权项

一种液体处理装置，其特征为包含：处理液容器，其储存处理液；吐出喷嘴，其对被处理基板吐出该处理液；供给管路，其将该处理液容器与该吐出喷嘴连接，并包含第2处理液供给管路；过滤器，其插设于该供给管路并过滤该处理液；泵，其插设于该过滤器的二次侧的该供给管路；第1回流管路，连接该过滤器之二次侧的该第2处理液供给管路，并经由该第2处理液供给管路回流到该过滤器的一次侧；第1开闭阀，设置于该泵之与该过滤器的连接部；第2开闭阀，设置于该泵之与该吐出喷嘴的连接部；第3开闭阀，设置于该泵之与该第1回流管路的连接部；以及控制部，其控制该泵、该第1开闭阀、该第2开闭阀以及该第3开闭阀；根据该控制部的控制信号，将因为该泵的吸入而通过该过滤器的处理液的一部分从该吐出喷嘴吐出，使剩下的处理液之一部分或全部回到该过滤器的一次侧的供给管路，使与吐出量相等的补充量加入回流量而合流，使所合流之处理液以对应该吐出量与该回流量的比率之合流的次数，进行该处理液的吐出与该过滤器的过滤。