用于改良基板上涂料之非正交几何形状涂布器

摘要

本发明系关于一种包括非正交几何形状涂布器用以改良玻璃带上之涂料及改良此等涂料之产量之涂布装置。该装置包括一第一配置，其系用以使该带沿着第一假想直线移动穿过设置于玻璃形成腔室中之一涂布区段。该涂布器具有各具有一纵轴的一涂布喷嘴及一排出槽。该涂布喷嘴将涂料蒸气导向该涂布区段，且该排出槽自该涂布区段中移走蒸气。一第二配置以与路径间隔之关系安装该涂布器，其中该涂布喷嘴与该排出槽面向该涂布区段。一第二假想直线系垂直于该涂布喷嘴之纵轴，且该第一假想直线与该第二假想线对向一在大于零度至90度范围内之角度。

主权项

一种气相沉积涂布装置，其包括：一第一配置，其系用以将一基板沿一路径以一第一方向移动穿过一涂布区段，其中通过该涂布区段之该路径系由一第一假想直线所表示；一涂布器，其包括用于将涂料蒸气导向该涂布区段之一涂布喷嘴，及用于自该涂布区段移除蒸气之一排出槽，其中该涂布喷嘴与该排出槽系彼此间隔且各具有一纵轴，及一第二配置，其系用于以与该路径间隔之关系安装该涂布器，其中该涂布喷嘴与该排出槽面向该涂布区段，其中一第二假想直线垂直于该涂布喷嘴及/或排出槽之纵轴，且该第一假想线与该第二假想直线呈大于零度至90度范围内之角度。