基板洗净用滚子

摘要

【物品用途】;本设计的物品是基板洗净用滚子，为一种用来洗净附着在施行研磨处理之基板(半导体晶圆等)的表面之研磨屑等使用；例如：将一对本物品，上下相对向配置于洗净装置，在其间隙配置基板，一面旋转本物品，一面在水平面上旋转基板，藉此就能进行洗净处理。;【设计说明】;后视图与前视图相对称，后视图省略。;仰视图与俯视图相同，仰视图省略。