发明名称 |
抗反应性电浆处理之保护涂层 |
摘要 |
本发明之实施例系关于含金属氟氧化物釉料或含金属氟化物釉料之组合物、玻璃陶瓷之组合物及其组合,其可用作抗电浆固体基板或在其他基板上之抗电浆保护涂层。本发明亦描述制造并入该等组合物之各种结构之方法,该等结构包括固体基板及在一基板之表面上之涂层,该基板具有一高于约1600℃之熔点,诸如氧化铝、氮化铝、石英、碳化矽、氮化矽。 |
申请公布号 |
TWI468364 |
申请公布日期 |
2015.01.11 |
申请号 |
TW098138452 |
申请日期 |
2009.11.12 |
申请人 |
应用材料股份有限公司 美国 |
发明人 |
孙语南;段仁官;柯林肯尼S |
分类号 |
C04B35/50;H01L21/3065;C04B41/87 |
主分类号 |
C04B35/50 |
代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼 |
主权项 |
一种抵抗一含卤素电浆之保护涂层组合物,包含:一经烧结组合物,该经烧结组合物包括与一氟氧化物非晶相组合之一钇基氟化物晶体相、或一钇基氟氧化物晶体相、或其组合,其中该氟氧化物非晶相之浓度为该经烧结组合物的至少4.5莫耳%,以使该涂层抵抗龟裂,且其中该保护涂层存在于具有高于约1600℃之熔点之一表面上。 |
地址 |
美国 |