气流改善以加长电极寿命之喷淋头电极组件

摘要

一种用于电浆处理装置之喷淋头电极组件。喷淋头电极组件包含附着于第二构件之第一构件。第一及第二构件具有呈流体连通的第一及第二气体通路。当处理气体流经气体通路时，总压降产生在跨越第一及第二气体通路上。跨越该第二气体通路之总压降分量大于跨越该第一气体通路之总压降分量。

主权项

一种喷淋头电极组件，用于一电浆处理装置，包含：一电极，具有复数之第一气体通路，该电极具有一电浆暴露表面；一背衬构件，附着于该电极并具有与该第一气体通路呈流体连通的复数之第二气体通路；及一或更多个第一空间，形成于该背衬构件之中且与该第二气体通路呈流体连通；其中，当一处理气体流经该第一与第二气体通路，在跨越该第一及第二气体通路上产生一总压降；且其中，该第一气体通路之总数量为该第二气体通路之总数量的2至4倍，以便提供CB△PTOTAL对CE△PTOTAL为3：1至5：1的比例，其中CE系该第一气体通路之总传导性、CB系该第二气体通路之总传导性、且△PTOTAL系跨越该第一及第二气体通路之该总压降。