高精度对位装置

摘要

一种对位装置，适于驱动一物件沿一工作平面运动。对位装置包括一底座、两第一固定部、两第一可动机构、一载台及一驱动模组。底座包括一主体及多个承靠结构，承靠结构一体成形地连接于主体的一表面且具有多个承靠面，这些承靠面不平行于工作平面。各第一固定部固定于底座且包括至少一第一滑轨，两第一固定部分别承靠于这些承靠面而使两第一滑轨平行于工作平面上的一第一轴向，各第一可动机构滑设于对应的第一滑轨。载台连接于这些第一可动机构且适于承载物件。驱动模组适于驱动各第一可动机构沿对应的第一滑轨滑动。

主权项

一种对位装置，适于驱动一物件沿一工作平面运动，该对位装置包括：一底座，包括一主体及多个承靠结构，其中该些承靠结构一体成形地连接于该主体的一表面且具有多个承靠面，该些承靠面不平行于该工作平面；两第一固定部及两第一可动机构，各该第一固定部固定于该底座且包括至少一第一滑轨，该两第一固定部分别承靠于该些承靠面而使该两第一滑轨平行于该工作平面上的一第一轴向，各该第一可动机构滑设于对应的该第一滑轨；一载台，连接于该些第一可动机构且适于承载该物件；以及一驱动模组，适于驱动各该第一可动机构沿对应的该第一滑轨滑动。