微间距图案之布线结构

摘要

一种微间距图案之布线结构包含一连接部、一第一导线部及一第二导线部，该第一导线部具有一第一线段及一第二线段，该第一线段连接该连接部，该第二线段连接该第一线段，该第二导线部具有一第三线段及一第四线段，该第三线段连接该连接部，该第四线段连接该第三线段，且该连接部、该第三线段及该第一线段形成一三面封闭之蚀刻空间，其中该第三线段至该第一线段之间具有一第一间距，该第四线段至该第二线段之间具有一第二间距，该一间距大于该第二间距，以使该蚀刻空间中的金属层可完全移除而避免金属层残留。

主权项

一种微间距图案之布线结构，其包含： 一连接部； 一第一导线部，具有一第一线段及一第二线段，该第一线段连接该连接部，该第二线段连接该第一线段，且该第二线段经由该第一线段电性连接该连接部；以及 一第二导线部，经由该连接部电性连接该第一导线部，且该连接部、该第一导线部及该第二导线部为同一层之金属层，该第二导线部具有一第三线段及一第四线段，该第三线段连接该连接部，且该连接部、该第三线段及该第一线段形成一三面封闭之蚀刻空间，该第四线段连接该第三线段，该第四线段经由该第三线段电性连接该连接部，该第三线段至该第一线段之间具有一第一间距，该第四线段至该第二线段之间具有一第二间距，该一间距大于该第二间距。