晶圆固定胶带之卷轮至片状贴附装置

摘要

揭示一种晶圆固定胶带之卷轮至片状贴附装置，主要包含一胶带拉张机构、一压合轮组以及一侧边压合轮组。胶带拉张机构之两侧传动带组拉张由一卷轮导出之晶圆固定胶带之两侧边拉张区域。压合轮组设置于胶带拉张机构内，用以非全面地压合晶圆固定胶带之区域至一晶圆框架。侧边压合轮组设置于胶带拉张机构外且邻近导出口，用以压合晶圆固定胶带之两侧边拉张区域至晶圆框架。而压合轮组提供之一压合轮宽不大于拉张路径之间隔宽度，用以初步固定晶圆固定胶带，藉以省略后段废料卷收卷轮之设置，且无侧边废料之浪费。

主权项

一种晶圆固定胶带之卷轮至片状贴附装置，包含：一胶带拉张机构，系包含一第一侧传动带组与一第二侧传动带组，藉以提供在一导入口与一导出口之间的拉张路径，用以拉张由一卷轮导出之晶圆固定胶带之两侧边拉张区域；一中央压合轮组，系设置于该拉张路径内，用以非全面地压合该晶圆固定胶带在该两侧边拉张区域间之中央区域至一晶圆框架；以及一侧边压合轮组，系设置于该拉张路径之外且邻近该导出口，用以压合该晶圆固定胶带之该两侧边拉张区域至该晶圆框架；其中，该中央压合轮组系提供一第一压合轮宽，其系不大于该拉张路径之间隔宽度，用以初步固定由该卷轮导出之该晶圆固定胶带，藉以省略后段废料卷收卷轮之设置。