配线检查方法、配线检查装置、配线检查电脑程式产品及记录媒体

摘要

本发明之配线检查方法系检查形成于基板上之配线有无短路部者，且包含：发热步骤，其对配线施加电压以使短路部发热；图像获取步骤，其获取基板之红外线图像；二值化步骤，其使用阀值自红外线图像生成二值化图像；及位置特定步骤，其自二值化图像特定短路部之位置；且二值化步骤系变更阈值而重复进行二值化处理。藉此，对包含短路部之配线之红外线图像进行二值化处理，生成经细线化之二值化图像，从而可准确特定短路部之位置。

主权项

一种配线检查方法，其特征在于检查形成于基板上之配线有无短路部，且包含：发热步骤，其对上述配线施加电压以使上述短路部发热；图像获取步骤，其获取上述基板之红外线图像；二值化步骤，其使用阈值自上述红外线图像产生二值化图像；及位置特定步骤，其自上述二值化图像特定上述短路部之位置；且上述二值化步骤系变更上述阈值而重复进行二值化处理。