制造石英玻璃坩锅之方法及装置

摘要

本发明系由一种石英玻璃坩锅之制造方法为起点，其系于一旋转之熔化模具内将二氧化矽内覆层晶粒玻璃化，该熔化模具至少有部分被一热屏盖住，并于一含轻气体之空气中经电浆之作用而形成一透明内覆层，且至少有部分包含轻气体之空气系经由热屏上之气体注入口注入至熔化模具内。为让内覆层含有特别低之气泡含量，并让能量及材料之花费为最少，本发明所提出之方法为，于玻璃化步骤前之覆层形成步骤中，于内壁形成一二氧化矽内覆层晶粒之晶粒覆层，而电浆区及与气体注入口连在一起之热屏，至少可于一与转轴垂直之方向上移动，且能在玻璃化步骤当中于晶粒覆层方向上横向移动，以让晶粒覆层玻璃化。

主权项

一种石英玻璃坩锅之制造方法，该方法包含：一将熔化模具内之二氧化矽内覆层晶粒玻璃化之步骤，该熔化模具系以一旋转轴旋转，且具有一内壁，该熔化模具有一上端开口，其至少有部分被一热屏盖住，该玻璃化步骤系于一含轻气体之空气中经电浆区之作用，以使石英玻璃坩锅基模形成一透明内覆层，至少有一部分包含轻气体之空气系经由热屏上之气体注入口注入至熔化模具内，其中，于玻璃化步骤之前之覆层形成步骤中，于内壁形成一二氧化矽内覆层晶粒之晶粒覆层，而电浆区及与气体注入口连在一起之热屏，至少可于一与转轴垂直之方向上移动，且能于玻璃化步骤中横向移动，以让晶粒覆层玻璃化，且于热屏进行横向偏移时，熔化模具之上端开口仍保持封闭。