发明名称 分光计及其制造方法
摘要 本发明之分光计1由于本体部2为板状,故可藉由本体部2之薄型化而谋求小型化。而且,由于本体部2为板状,故例如可利用晶圆制程来制造分光计1。亦即,对于作为多数之本体部2之玻璃晶圆,系可藉由将透镜部3、绕射层4、反射层6及光检测元件7设置成矩阵状,并切割该玻璃晶圆而制造多数分光计1。如此,可容易地大量生产分光计1。
申请公布号 TWI468652 申请公布日期 2015.01.11
申请号 TW097121291 申请日期 2008.06.06
申请人 滨松赫德尼古斯股份有限公司 日本 发明人 柴山胜己;海慕特 特基曼;能野隆文;铃木智史;戴特玛 席勒;欧里其 史塔克
分类号 G01J3/02 主分类号 G01J3/02
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种分光计,其特征在于包含:本体部,使由一方之面入射之光穿透;分光部,设于前述本体部另一方之面侧,将穿透前述本体部之光加以分光而向前述一方之面侧反射;光检测元件,设于前述一方之面侧,检测藉由前述分光部加以分光而反射之光;及吸光层,形成于前述一方之面上,具有入射至前述本体部之光所通过之狭缝、及入射至前述光检测元件之光所通过之开口部;前述本体部包括具有前述一方之面之第1透光构件、及设有前述分光部之第2透光构件。
地址 日本