静电吸盘之电平衡电路的修复

摘要

本发明包括用于修复含于一静电吸盘内之双极电极与一配置于该静电吸盘顶部之导电遮罩之间的称为一平衡电路之一电连接的方法及设备。本发明之实施例尤其适用于在移除一静电吸盘之后的整修。

主权项

一种基板支撑组件，其包含：一静电吸盘，其具有一嵌入其中之电极且具有一配置以穿过其之孔；一导电衬垫，其配置于该静电吸盘之一表面上并位于该孔内；一导电管，其自该静电吸盘之一下表面延伸且与该孔轴向对凖；及一导电插件，其至少部分地位于该孔内且至少部分地位于该导电管内，其中该导电插件提供一介于该导电衬垫与该导电管之间的导电路径。