非极性三族氮化物膜、使用其制造之装置及生长其之方法

摘要

本发明提供一种生长在一基板的一斜切角上之非极性三族氮化物膜，以用于抑制表面波动。该膜的表面形态经改良为具有一个朝向a轴方向的斜切角，其包括朝向a轴方向之0.15°或更大的斜切角及朝向a轴方向小于30°的斜切角。

主权项

一种生长在一基板的一斜切上之非极性三族氮化物膜，其中该非极性三族氮化物膜的一顶面是一非极性平面，该斜切是针对该基板的一非极性平面成0.15°或更大且小于30°之一斜切角的该基板之一个表面，且该斜切角被控制以抑制该非极性三族氮化物膜的该顶面上之波动。