发明名称 试剂分配装置及输送方法
摘要 本发明系有关于一种气相或液相试剂分配装置,该分配装置包含一容器40其包括一可拆下的顶壁件20,一侧壁件22及一底壁件26其内具有一池穴(sump cavity),其被建构来形成一内部容器隔间;该侧壁件22具有一突起24其延伸入到该内部容器隔间内邻近该顶壁件20;该顶壁件20与该突起24具有相对的平坦表面,其中该相对的平坦表面的至少一部分被硬化30;一金属密封件10其与被硬化之相对的平坦表面30对准并与其接触;一温度感测器75(即,热电偶)及76(即,热电偶套管)与一来源化学物位准感测器78。该分配装置可被用于试剂,譬如用于半导体物质与装置的制造中之物质沉积的前驱物,的分配。
申请公布号 TWI468613 申请公布日期 2015.01.11
申请号 TW097103120 申请日期 2008.01.28
申请人 普雷瑟科技股份有限公司 美国 发明人 罗纳 史彭;大卫 彼得斯
分类号 F17C9/00;F16J15/02 主分类号 F17C9/00
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种气相或液相试剂分配装置,其包含:一容器,其包含一可拆下的顶壁件,一侧壁件及一底壁件,它们被建构来形成一内部容器隔间用来容纳一来源化学物至一装满位准并额外地界定一在该装满位准上方之内部气体体积;该侧壁件具有一突起其延伸入到该内部容器隔间中邻近该顶壁件;该顶壁件与该侧壁件具有相对的平坦表面,其中该相对的平坦表面可选择地彼此相接触;紧固机构,用来透过该选择上地彼此接触之该相对的平坦表面来将该顶壁件固定到该侧壁件上;该顶壁件与该突起具有相对的平坦表面,其中相对的表面没有彼此接触且相对的平坦表面的至少一部分被硬化;一金属密封件,其与该顶壁件及该突起之被硬化的相对的平坦表面对准并与其接触,其中该顶壁件及该突起之被硬化的相对的平坦表面具有一硬度其大于该金属密封件的硬度;该底壁件具有一主要地板表面其包含一池穴于其内,该池穴从该主要地板表面向下延伸,该池穴在其下端处以一副地板表面为界,至少一部分的池穴被中心地设置在该底壁件上且至少一部分的池穴被非中心地设置在该底壁件上;一温度感测器,其由该容器的一上端外部延伸穿过该顶壁件之一被中心地设置的部分且大致垂直地向下穿过该内部气体体积进入该来源化学物中到达该池穴之被中心地设置在该底壁件上的部分的下端,该温度感测器的下端系以与该池穴的该副地板表面无干涉近接方式被设置;一来源化学物位准感测器,其由该容器的一上端外部延伸穿过该顶壁件之一被非中心地设置的部分且大致垂直地向下穿过该内部气体体积进入该来源化学物中到达该池穴之被非中心地设置在该底壁件上的部分的下端,该来源化学物位准感测器的下端系以与该池穴的该副地板表面无干涉近接方式被设置;及该温度感测器被可操作地安排在该池穴内用以决定在该容器内之来源化学物的温度,该来源化学物位准感测器被可操作地安排在该池穴内用以决定该来源化学物在该容器内的位准,该温度感测器与该来源化学物位准感测器系以彼此无干涉近接方式被设置在该池穴中,该温度感测器的下端系位在该池穴之相关于该来源化学物位准感测器的下端的同一副表面或邻近该副表面,且该温度感测器与该来源化学物位准感测器在该池穴内系成来源化学物流联通的。
地址 美国